「ナノテクノロジでムーアの法則の延命と適用範囲拡大を図る」，米インテルがIDFで講演

和田英一

2002.09.13

　「コンピューティングと通信の機能を統合するシリコン技術は，ムーアの法則による恩恵の及ぶ範囲を無線／光通信分野などに広げる」。米Intel，CTO（最高技術責任者）のPat Gelsinger氏と同社上級副社長のSunlin Chou氏は米国時間9月12日に，カリフォルニア州サンノゼで開催中のIntel Developer Forum（IDF）, Fall 2002の講演で述べたもの。

　両氏は「当社はシリコン・ナノテクノロジの研究を進めることで，ムーアの法則の寿命を延ばす」と語った。なおムーアの法則とは，Intel社の創設者の1人であるGordon Moore氏が唱えた「集積回路におけるトランジスタの密度は，2年ごとに2倍になる」という経験則である。

　講演のなかでGelsinger氏は，Intel社が研究している以下の3つの技術を紹介した。

・シリコン無線機：
　同社の低消費電力CMOS製造プロセスを用い，LSIに無線通信機能を組み込む。数年後に実用化し，さまざまなLSIで無線通信の利用を可能とする。

・シリコンによる光通信：
　Gelsinger氏はシリコン光学を利用した波長可変レーザーのデモンストレーションを行った。同氏は，「この研究は，デジタル機能とシリコンベースの光電子素子を単一LSIに統合できる高密度集積素子の構築に，ムーアの法則を適用しようとするものだ」と説明する。「低コストのシリコン製ビルディング・ブロックと素子技術を組み合わせ，光通信ネットワークのコストを劇的に下げることが最終目標」（Intel社）

・センサー・ネット：
　同社は，演算／通信機能を持つ低コストなシリコン製センサーを組み合わせて“センサー・ネット”と呼ぶ無線ネットワークを構築し，メイン州のグレート・ダック島で実施試験を開始した。同島ではIntel社の研究所とアトランティック大学が，センサー・ネットを使って島の環境を研究している。各センサーは温度／湿度／気圧／赤外線センサーを備えており，研究者は現地に入ることなく野生動物や環境を監視できる。計測したデータは衛星回線を通じてインターネットに送信されるので，情報はリアルタイムに入手可能。「センサー・ネット技術を使うと，人間が現地で調査を行う場合よりも，環境破壊の程度を低く抑えてデータ収集できるようになる」（同社）

　またIntel社は，新たなシリコン技術，材料，素子の構造に関する研究／開発も行っているという。「超紫外線（EUV）リソグラフィー，トランジスタのゲートの新しい誘電物質，新型のトランジスタの構造や，2003年に当社の90nmプロセスに導入する予定のストレインド・シリコンと呼ばれる電子の移動度を高める技術などで，ムーアの法則を延命できる」（同社）

　Chou氏によると，同社は10年以内に生産を開始する計画のテラヘルツ・トランジスタ研究プロジェクトの一部で，非平面のトリプル・ゲートCMOSトランジスタ（“トリゲート・トランジスタ”）を検討している。同トランジスタは3次元構造を採ることで，トランジスタのゲート面積を広げることができ，性能向上とより高速なプロセサの実現に寄与するという。

　さらにChou氏は，「当社の研究者らは，カーボン・ナノチューブやシリコン・ナノワイヤなど長期的なナノテクノロジ研究プロジェクトを，大学と共同で進めている」と語った。ただし同社は，コンピュータ用素子としてのナノチューブやナノワイヤの実用化には10年以上かかるとみている。