半導体製造装置メーカーの米Applied Materialsは米国時間7月18日,米AMDが同社のイオン注入システム「Quantum LEAP(Low Energy Advanced Processing)」を追加購入したと発表した。

 AMD社は今回購入したQuantum LEAPを,ドレスデン(ドイツ)の工場「Fab 30」における既存の「AMD Athlon」プロセサや,今後リリースする第8世代のAMD Athlonおよび「AMD Opteron」プロセサの製造に利用するためという。

 AMD社Fab 30のDiffusion/RTA and Implant部門モジュール担当であるPeter Adam氏は,「昨年,数台のQuantum LEAPをFab 30に導入したところ,最新製品の生産がすぐに需要に追いついた。新たに購入したQuantum LEAPはSOI技術を用いた0.13μmルールのプロセサ製造に利用する」と説明した。

 Applied Materials社のイオン注入システムは高電流注入技術を用いており,エネルギーは200eVから120keV。「0.18μmルール以下の半導体製造において,低エネルギー注入は非常に重要である。また,我が社のQuantumシステムは設置面積が小さく,200mmと300mmのウエーハに対応しているため,米国,アジア,日本,欧州の大手半導体メーカーに採用されている」(Applied Materials社)

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