「2001年における世界ウエーハ製造装置の売上高は，在庫過剰，需要減少，供給過剰により，減少した」。米GartnerのDataquestが，調査結果を米国時間4月12日に明らかにしたもの。それによると，2001年の売上高は233億ドル，前年の売上高331億ドルに比べ29.8％減となった。
これについて，Dataquest社半導体調査グループ主席アナリストのBob Johnson氏は，「2000年に市場が大きく成長した影響で，2001年は実質的に出荷能力が停滞し，企業の関心が技術と生産性を向上させる装置に向かっていた」と分析する。
「リソグラフィ，銅配線，プロセス制御など注目されている技術分野を手がけるベンダーにとって悪くはなかった。一方，大量購入や開発途上技術に対する依存度の高いベンダーに対しては，それとは逆の影響を及ぼした」（同氏）
2001年に順位を上げた大手ベンダーは米KLA-Tencorとキヤノンの2社だけである。KLA-Tencor社は2000年の5位から3位に上昇し，キヤノンは2000年の8位から6位となっている。
■半導体用ウエーハ製造装置の世界売上高トップ10ベンダー（単位：100万ドル）
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2001年 2001年 2000年 2000年
売上高 市場シェア 売上高 市場シェア 成長率
ベンダー （％） （％） （％）
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Applied Materials 4,919 20.7 8,398 25.3 -41.4
東京エレクトロン 2,639 11.1 3,701 11.2 -28.7
KLA-Tencor 1,887 7.9 1,761 5.3 7.2
ニコン 1,525 6.4 1,979 6.0 -22.9
ASML 1,273 5.4 1,842 5.6 -30.9
キヤノン 1,196 5.0 1,118 3.4 7.0
Lam Research 1,131 4.8 1,418 4.3 -20.2
Novellus Systems 920 3.9 1,229 3.7 -25.2
大日本スクリーン 776 3.3 1,090 3.3 -28.8
日立製作所 633 2.4 836 2.5 -24.3
その他 6,361 27.3 9,769 29.5 -34.9
合計 23,260 100.0 33,140 100.0 -29.8
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出典：Dataquest社（2002年4月）
地域別でみた調査結果は以下の通りである。
・売上高はすべての地域で大きく減少。
・台湾地域は54％減少。
・DRAM製造を主に行う地域も影響が大きく，韓国は40％減となった。
・アジア太平洋地域は30％の減少で済んだ。
・欧州と米国の減少はそれぞれ27％と22％。
・日本は2001年第1四半期が好調だった影響で13％減となり，減少率が最も少なかった。
なおBob Johnson氏は，「2002年はマクロ経済の厳しい状態が緩んできている」と分析する。このため「電子装置と半導体機器の需要が伸び，大きく回復する方向にある」（同氏）という。
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